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KRI考夫曼射頻離子源RFICP220濺射制備堵片傳感器薄膜

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  為了使堵片傳感器的靈敏度分辨率、測量范圍小、測量精度等得到提高可實現(xiàn)對堵片打開信號的可靠、穩(wěn)定測量滿足航天飛行器發(fā)動機控制系統(tǒng)信號測試需要某堵片傳感器制造商采用伯東 KRI 考夫曼射頻離子源 RFCIP220 濺射制備堵片傳感器薄膜.

 

伯東 KRI 射頻離子源 RFICP220 技術(shù)參數(shù):

portant;">

離子源型號

portant;">

RFICP220

portant;">

Discharge

portant;">

RFICP 射頻

portant;">

離子束流

portant;">

>800 mA

portant;">

離子動能

portant;">

100-1200 V

portant;">

柵極直徑

portant;">

20 cm Φ

portant;">

離子束

portant;">

聚焦,  平行,  散射

portant;">

流量

portant;">

10-40 sccm

portant;">

通氣

portant;">

Ar,  Kr,  Xe,  O2,  N2,  H2,  其他

portant;">

典型壓力

portant;">

< 0.5m Torr

portant;">

長度

portant;">

30 cm

portant;">

直徑

portant;">

41 cm

portant;">

中和器

portant;">

LFN 2000

可選燈絲中和器可變長度的增量

KRI 射頻離子源 RFICP 220

 

KRI 離子源的獨特功能實現(xiàn)了更好的性能增強的可靠性和新穎的材料工藝. KRI 離子源已經(jīng)獲得了理想的薄膜和表面特性而這些特性在不使用 KRI 離子源技術(shù)的情況下是無法實現(xiàn)的.

 

KRI 離子源是領(lǐng)域公認的領(lǐng)導者已獲得許多專利. KRI 離子源已應(yīng)用于許多已成為行業(yè)標準的過程中.

 

伯東是德國 Pfeiffer 真空泵,  檢漏儀,  質(zhì)譜儀,  真空計,  美國 KRI 考夫曼離子源,  美國HVA 真空閥門,  美國 inTEST 高低溫沖擊測試機,  美國 Ambrell 感應(yīng)加熱設(shè)備和日本 NS 離子蝕刻機等進口知名品牌的指定代理商.

 

若您需要進一步的了解詳細信息或討論,  請參考以下聯(lián)絡(luò)方式:

上海伯東羅先生                               臺灣伯東王女士
T: +86-21-5046-1322                   T: +886-3-567-9508 ext 161
F: +86-21-5046-1490                        F: +886-3-567-0049
M: +86 152-0195-1076                     M: +886-939-653-958
ec@hakuto-vacuum.cn                      ec@hakuto.com.tw
www.hakuto-china.cn                    www.hakuto-vacuum.com.tw

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