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MC5藍(lán)寶石晶圓激光微加工系統(tǒng)
藍(lán)寶石晶圓激光微加工系統(tǒng)主要包括：精密工作臺、數(shù)控系統(tǒng)、真空吸附系統(tǒng)、煙粉塵收集及凈化系統(tǒng)、激光源、軟件等主要部件組成。 		2024-07-25
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