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Hakuto 離子蝕刻機 20IBE 去除印刷電路板污染物

放大字體  縮小字體 發布日期:2021-01-26 16:04:35    瀏覽次數:21    評論:0
導讀

某印刷電路板制造商采用伯東Hakuto 離子蝕刻機 20IBE-J應用于刻蝕印刷電路板局部表面去除污染物.Hakuto 離子蝕刻機 20IBE-J技術

 某印刷電路板制造商采用伯東 Hakuto 離子蝕刻機 20IBE-J 應用于刻蝕印刷電路板局部表面去除污染物.

 

Hakuto 離子蝕刻機 20IBE-J 技術參數

Φ4 inch X 12片

基片尺寸

Φ4 inch X 12片

Φ5 inch X 10片

Φ6 inch X 8片

均勻性

±5%

硅片刻蝕率

20 nm/min

樣品臺

直接冷卻,水冷

離子源

Φ20cm 考夫曼離子源

 

Hakuto 離子刻蝕機 20IBE-J 搭配伯東公司代理美國考夫曼博士創立的 KRI考夫曼公司的射頻離子源 RFICP220

伯東 KRI 射頻離子源 RFICP 220 技術參數:

離子源型號

RFICP 220

Discharge

RFICP 射頻

離子束流

>800 mA

離子動能

100-1200 V

柵極直徑

20 cm Φ

離子束

聚焦, 平行, 散射

流量

10-40 sccm

通氣

Ar, Kr, Xe, O2, N2, H2, 其他

典型壓力

< 0.5m Torr

長度

30 cm

直徑

41 cm

中和器

LFN 2000

 

Hakuto 離子蝕刻機 20IBE-J 有效針對所需區域進行蝕刻, 并避免印刷電路板全面性蝕刻產生的導線暴露于空氣中發生的短路異?,F象.

 

若您需要進一步的了解詳細產品信息或討論 , 請參考以下聯絡方式 :

上海伯東 : 羅先生                               臺灣伯東 :  
T: +86-21-5046-1322                   T: +886-3-567-9508 ext 161
F: +86-21-5046-1490                        F: +886-3-567-0049
M: +86 152-0195-1076                     M: +886-939-653-958
ec@hakuto-vacuum.cn                      ec@hakuto.com.tw
www.hakuto-china.cn                    www.hakuto-vacuum.com.tw

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(文/小編)
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