真空泵機組在半導體制造業(yè)中有很多種不同的真空泵機組。我們把它們分成兩類：初級泵和高級真空泵機組。初級泵有幾種用途：在腔內(nèi)創(chuàng)造近似中級真空(壓力小于10-3托)；清空多腔集成設(shè)備中接收硅片的區(qū)域(如真空鎖)；為高級真空泵機組用來獲得壓力，范圍10-3托到10-9托的。
新型晶片廠中使用的現(xiàn)代真空泵機組是干性的，意味著其內(nèi)部沒有任何可能回流到工藝腔中沾污硅片的油或潤滑劑。 要先用機械泵將系統(tǒng)抽至低真空，再接通擴散泵冷凝水.然后逐漸加熱使油沸騰并正?；亓骱笤賳佑蛿U散泵。關(guān)閉油擴散泵時.需先切斷加熱器電源，待油停止沸騰后再關(guān)冷凝水，再關(guān)閉擴散泵前后兩個活塞，接著將機械泵的抽氣日通大氣后才能停機械泵.通常在機械泵和油擴散泵之前安一冷阱，以免有機物、水汽等雜質(zhì)進入機械泵，影響泵的工作性能。冷阱的冷卻荊可按需要選用干冰、液氮等。 對玻璃真空系統(tǒng)的檢漏，使用高頻火花真空檢漏儀較方便。它是利用低壓強氣體在高頻電場中，發(fā)生感應(yīng)放電時所產(chǎn)生的不同顏色。
化工用真空泵-珂勒曦螺桿真空泵，單極突破0.1pa極限真空，可長時間運行，并且針對國內(nèi)高溫差、高濕度、高粉塵環(huán)境做了針對性優(yōu)化，更適應(yīng)國內(nèi)的各類工況環(huán)境，實際應(yīng)用實現(xiàn)更低故障率，更低能耗，更高能效。廣泛應(yīng)用于電子光伏、包裝行業(yè)、真空模擬、風洞實驗和造紙與印刷等各種生產(chǎn)行業(yè)。如果您對珂勒曦螺桿鼓風機感興趣或想了解更多信息，歡迎留言咨詢或撥打珂勒曦全國免費客服熱線：400-886-7766，期待您的來電。
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