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1. 導(dǎo)向精度
導(dǎo)向精度是指運(yùn)動(dòng)構(gòu)件沿導(dǎo)軌導(dǎo)面運(yùn)動(dòng)時(shí)其運(yùn)動(dòng)軌跡的準(zhǔn)確程度。影響導(dǎo)向精度的主要因素有導(dǎo)軌承導(dǎo)面的幾何精度、導(dǎo)軌的結(jié)構(gòu)類(lèi)型、導(dǎo)軌副的接觸精度、表面粗糙度、導(dǎo)軌和支承件的剛度、導(dǎo)軌副的油膜厚度及油膜剛度，以及導(dǎo)軌和支承件的熱變形等。
直線導(dǎo)軌的幾何精度一般包括：垂直平面和水平平面內(nèi)的直線度；兩條導(dǎo)軌面間的平行度。導(dǎo)軌幾何精度可以用導(dǎo)軌全長(zhǎng)上的誤差或單位長(zhǎng)度上的誤差表示。

2. 精度保持性
精度保持性是指導(dǎo)軌工作過(guò)程中保持原有幾何精度的能力。導(dǎo)軌的精度保持性主要取決于導(dǎo)軌的耐磨性極其尺寸穩(wěn)定性。耐磨性與導(dǎo)軌副的材料匹配、受力、加工精度、潤(rùn)滑方式和防護(hù)裝置的性能的因素有關(guān)，另外，導(dǎo)軌及其支承件內(nèi)的殘余應(yīng)力也會(huì)影響導(dǎo)軌的精度保持性。

運(yùn)動(dòng)靈敏度和定位精度
運(yùn)動(dòng)靈敏度是指運(yùn)動(dòng)構(gòu)件能實(shí)現(xiàn)的最小行程；定位精度是指運(yùn)動(dòng)構(gòu)件能按要求停止在指定位置的能力。運(yùn)動(dòng)靈敏度和定位精度與導(dǎo)軌類(lèi)型、摩擦特性、運(yùn)動(dòng)速度、傳動(dòng)剛度、運(yùn)動(dòng)構(gòu)件質(zhì)量等因素有關(guān)