UV光氧廢氣除理設備通過利用高能紫外線光束照射并列解有機（惡臭）廢氣，如氨氣、三甲胺、硫化氫、甲硫醇、二硫化碳和苯乙烯、苯、等VOC類有機異味氣體的分子鏈結構，使之降解轉變成低分子化合物，如CO2、H20等；由于高能紫外線光束分解空氣中的氧分子產生活性臭氧，因臭氧對有機物具有極強的氧化作用，對惡臭氣體及其它刺激性異味有立竿見影的清除效果。同時燈管兩邊的催化層（納米二氧化鈦）在受到紫外線光照射時生成化學活性很強的超氧化物陰離子和氫氧自由基，達到降解有機物的作用，能有效分解惡臭氣體中有毒有害物質及脫臭效果，經分解后的惡臭氣體，可達到無害化排放，不產生二次污染，同時達到高效消毒殺菌的作用，再通過排風管道排至室外。TiO?光催化的催化化性在很大程度上影響光催光反應速率，而TiO?光催光活性主要受TiO?的晶型和粒徑的影響。銳鈦型TiO?的催化活性高。隨著粒徑的減少，電子與空穴簡單復合的概率降低，光催化活性增大。另外，孔隙率、平均孔徑、粒子表面狀態，純度等對其光催化活性也均有一定影響。為了提高光降解效率，對TiO2光催化劑進化改性，如研制納米TiO?，制備TiO?的復合半導體，金屬離子摻雜、染料光敏化等。

這種技術需要使用特殊波段的紫外線燈管進行安裝和設計，不同風量的車間對于紫外線燈管的多少和排列布局有比較重要的影響。一般情況下，利用風機的壓力可以將有機廢氣聚集到光催化設備的內部，這樣相對來說濃度較高的廢氣就會在強烈紫外下光束的影響下開始分裂凈化工作。這種設備的優勢在于可以在低濃度大風量的環境中安裝使用，并且可以得到比較理想的處理效果。